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(13)、需着装防静电事情服,静电帽,静电鞋。
全关闭污染无尘室干净度品级 品级 每立方米(升)氛围中》0.5μm尘粒数 每立方米(升)氛围中》5μm尘粒数 100 《35*100(〈3.5〉 1000 《35*1000(〈35〉 《250(〈0.25〉 10000 《35*10000(〈350〉 《2500(〈2.5〉 100000 ###〈3500〉 《25000(〈25〉 美国联邦尺度FS209E中的干净品级
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